低溫等離子處理設備是氣體分子在真空等離子清先機放電等特殊場(chǎng)合下產(chǎn)生的質(zhì)量。等離子清洗 / 刻蝕產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個(gè)電極形成電磁場(chǎng)，
用真空泵實(shí)現一定的真空度，隨著(zhù)氣體越來(lái)越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動(dòng)距離也越來(lái)越長(cháng)，受磁場(chǎng)作用，發(fā)生碰撞而形成等離子體，同時(shí)會(huì )發(fā)生輝光。等離子體在電磁場(chǎng)內空間運動(dòng)，并轟擊被處理物體表面，從而達到表面處理、清洗和刻蝕的效果。